觸摸屏氣體流量控制器是一種測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償,可根據(jù)需要進行流量設定,自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值??梢缘乜刂茪怏w的給定量,這對很多工藝過程的流量控制,是用于對于不同氣體的比例控制。直接測量氣體的質量流量,輸出質量流量信號,不用其他設備。可以的測量微小流量,采用分流裝置,又可以測量大流量,而且溫度,壓力范圍很大。
流量控制器功能:
?、倭髁吭O定:在閥控狀態(tài)下,以F.S滿量程為基準,設定范圍“0~110%F.S”(注:“0”-根據(jù)MFC不用,范圍可能是2~110%)。
?、诹髁孔x取:自動讀取實時流量值。
?、矍逑?清掃):在安裝氣路過程中,方便清除管道內的異物,確保管路的清潔。注:間斷使用,不可長時間使用。
④關閉:實現(xiàn)MFC的關閉功能。注:間斷使用,不可長時間使用。
?、堇鄯e流量設定:控制一定總量的氣體,到想要的總量,自動關閉。在“流量設定”的某一個值下,設定氣體總量,實現(xiàn)總量控制。
⑥定時控制:某一設定流量下,在一定時間內控制流量。
?、邔崟r流量記錄:查看氣體流量的記錄表??梢杂肬盤存貯。
?、鄬崟r流量曲線:查看氣體流量的實時曲線。
?、岫鄽怏w種類的選擇。實現(xiàn)一個MFC控制多種氣體。
?、夥侄瘟髁靠刂疲簹怏w流量的曲線控制。