氣體質(zhì)量流量控制器是一種精確測量氣體流量的儀表，是現(xiàn)代電子設(shè)備工藝氣體流量控制的不可少的控制單元，它的原理和應(yīng)用質(zhì)量流量控制器用于對各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制，大量用于電子工藝設(shè)備(如擴(kuò)散、氧化、外延、CVD.等離子刻蝕、濺射等)以及鍍膜設(shè)備、光導(dǎo)纖維制造中。
它通常由流量傳感器、流量調(diào)節(jié)閥、放大控制器和分流器通道等組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源盒提供。流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測量流過氣體的質(zhì)量流量，具有溫度、壓力囪動(dòng)補(bǔ)償特性。
技術(shù)特點(diǎn)：
1、耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
2、主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。線路板、閥體、彈簧片、精密電阻和resistor等為重要零部件，均執(zhí)行嚴(yán)格的入廠標(biāo)準(zhǔn)。
3、氣體質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定可靠。
4、可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合?！钆浜螹T-60系列流量積算儀，可對氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行精確計(jì)量。
應(yīng)用領(lǐng)域：
生務(wù)技術(shù)、制要行業(yè)；
氣體泄露檢測系統(tǒng)；
食品、化學(xué)、石化等行業(yè)氣體流量監(jiān)控；
燃料電池、環(huán)寶設(shè)備；
光纖、玻璃、表面處理設(shè)備；
LED照明、金屬加工；
精密氣體混合與分析；
大學(xué)、實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)機(jī)構(gòu)和研發(fā)設(shè)備；
半導(dǎo)體、太陽能、光伏制造業(yè)。
